無塵室 Clean Room 簡介

無塵室即是一間潔淨無塵的房間。
在國際標準化組織(International Organiztion for Standardization, ISO)14644-1 標準中，有一個特殊的定義：
無塵室是一間能夠控制微塵粒子濃度的房間，並且其是採用將引進及產生的污染微塵粒子數降低的原則來建造及使用，而且包含其它相關參數（例如溫度 、濕度、噪音、照度、振動和壓力等等）皆必須加以控制在必要之範圍內。
它是將引入或產生的污染粒子降到最低的一個房間，為達到此目的，首先，我們必須供給極大量經由高效率過濾網過濾後的空氣，這些空氣是用來作為
　(1)稀釋及移除房間內部經由人員與機器散播的微塵粒子及細箘
　(2)對房間內部加壓並確保沒有髒的氣流進入到無塵室裡。
其次,無塵室需使用不會產生微塵粒子且容易清潔的材料。最後，於無塵室內部的工作人員需要穿著無塵衣，以達到把微塵粒子及微生物的散播降到最低的功能。

內容部份摘自無塵室技術─設計、測試及運轉 W.Whyte 原著 王輔仁 編譯