無塵室是近代科技發展的一個特殊現象,當初是基於對醫院傳染控制的要求而產生的,現今潔淨無塵的環境卻已成為高科技產業製程所不可或缺的。無塵室存在的必要性是由於人員、生產機器及建築材料等皆會產生污染,而影響到製程良率或產品品質。人員與機器均會產生數以萬計的微塵粒子,而傳統的建築材料也容易產生脫落分離造成污染,因此,無塵室有存在的必要性,能有效控制微塵粒子的散播,提供製造過程一個無塵的環境。
應用層面含括:電子業、光電業、綠能業、半導體業、精密機械業、光學工業、生物科技業、製藥業、醫學設備、食品加工業...等。
微塵粒子在一定面積範圍內所能接受的多寡,是隨著產業不同而有所區分等級的。
隨著科技業蓬勃發展,產品製程的創新日新月異,無塵室的需求無疑地將會持續地增加及擴大。
內容部份摘自無塵室技術─設計、測試及運轉 W.Whyte 原著 王輔仁 編譯
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